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          雙探頭表面三維形貌分析系統

          SKU: FM-DP-3D

          產品介紹

          產品介紹:

            采用彩色激光共焦技術,可實現對材料表面微米、次微米級粗糙度檢測,并且可以進行2D輪廓/3D微觀形貌掃描分析,具有測量精度高,速度快,重復性好的優點。

              該系統可用于測量大尺寸樣品,軟件功能含括了點測量、線測量、面測量等強大的功能,可選模塊包括2D&3D粗糙度檢測與分析、2D輪廓測量與3D形貌分析、平面度檢測、共面度檢測、平行度檢測等。

          本系統特點:

          一、采用傳動裝置:直線磁軸電機驅動

          二、專業集成設計

          三、豐富的三維計測

          四、多樣的三維觀察

           

          技術參數

          技術參數:

           

          探頭A

          探頭B

          工作距離

          11mm

          19mm

          量程

          ±190um

          ±1700um

          最大傾角

          ±28°

          ±21°

          光斑尺寸

          10um

          20um

          分辨率

          10nm

          40nm

          精度

          ±0.02%F.S.

          ±0.02%F.S.

          最小厚度測量

          12um

          66um

          最大厚度測量

          511um

          5098um

          電動臺參數:

          XY平臺

          驅動

          直線磁軸電機

          平臺大小

          220X230mm

          XY方向行程

          100X100mm

          分辨率

          0.05μm

          重復定位精度

          <1μm

          最大允許負重

          2Kg

          掃描速度

          ≤80mm/s

          掃描間距

          ≥0.5μm

          電氣特性

          控制器(專用電腦)額定輸入

          100-240V AC 5.3A 50/60Hz

          驅動器(專用機箱)額定輸入

          48V DC 2.1A

          傳感器輸入

          24V DC 3A


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